第122章 良品率的魔术师

001基地，701车间。

气氛比一周前“点亮晶片”时还要凝重。

虽然苏正提出了“用瑕疵晶片做游戏机”的天才设想，但现实给了所有人当头一棒。

即便把標准降低到“能跑动俄罗斯方块就行”，现在的良品率也依然卡在5%左右死活上不去。

这意味著什么？

意味著生產一百颗晶片，有九十五颗是连废品都算不上的垃圾。

意味著“红星游戏机”的成本居高不下，根本无法实现苏正口中的“价格屠夫”策略。

“没法干了，真的没法干了。”

负责生產线的老厂长把帽子狠狠地摔在桌子上，眼圈通红，“昨天为了赶那一批去广交会的样机，我们连轴转了二十四个小时。结果呢？两千片晶圆，最后只挑出来不到一千颗能用的芯！这哪里是生產？这是在烧钱！是在犯罪！”

老陈在一旁也是长吁短嘆，满嘴燎泡。

“苏部长，是不是咱们的设备太土了？毕竟是手搓的光刻机，是不是精度还是不够？”

苏正坐在会议桌的主位上，手里把玩著一颗废弃的晶片。

他没有说话，只是静静地看著那颗晶片表面上几道肉眼几乎看不见的划痕。

“不是设备的问题。”

苏正突然开口，“设备精度我已经校准过了，0.9微米没有问题。问题出在……环境。”

“环境？”老厂长瞪大了眼睛，“苏部长，咱们可是恆温恆湿的超净间啊！进出都要吹淋三遍，连屁都不敢放一个。这环境还不行？”

“对於微米级的世界来说，我们以为的『乾净』，其实和垃圾堆没什么两样。”

苏正站起身，转头看向一直坐在角落里敲击键盘的叶心仪。

“心仪，数据跑完了吗？”

“跑完了。”

叶心仪推了推眼镜，抱起那台厚重的笔记本电脑，走到投影仪前。

“过去三天，我调动了红星二號计算机80%的算力，对701车间內的空气流场、静电分布和人员动线进行了全真模擬。”

屏幕上出现了一张复杂的流体动力学模型图。无数红色的线条像血管一样在车间的透视图里流动。

“这是什么？”老陈看得一头雾水。

“这是『尘埃的轨跡』。”

叶心仪的声音清冷，“通过模擬，我发现了三个异常的数据聚集点。在这些点上，尘埃颗粒的浓度是其他区域的十倍以上。这就是良品率上不去的『鬼』。”

“鬼？”

所有人都在面面相覷。

“走。”

苏正披上防尘服，“去车间，抓鬼。”

……

换装完毕，一行人再次走进那个灯火通明的洁净室。

苏正走在最前面。这一次，他的眼神变得格外犀利。在他的“真理之眼”视野中，整个车间不再是白茫茫的一片，而是充满了无数漂浮的微粒。

那些微粒，在叶心仪標记的区域，正跳著疯狂的舞蹈。

“第一个鬼，在这里。”

苏正停在了一台自动涂胶机前。

这台机器负责把光刻胶均匀地涂在晶圆表面。机器运转平稳，看不出任何毛病。

“这……这机器挺好的啊？”老厂长疑惑道。

“听。”

苏正指了指机器底部的排风口。

眾人屏住呼吸，只听到轻微的嗡嗡声。

“频率不对。”

苏正蹲下身子，伸手摸了摸排风口的滤网，“这颱风机的震动频率，和旁边离心机的频率產生了共振。虽然很微小，但这种共振会让滤网上的积尘……抖落下来。”

他猛地打开滤网盖板。

只见在排风口的內壁上，积了一层极薄的灰尘。而在共振的作用下，这些灰尘正像下雪一样，一点点地飘落在刚刚涂好胶的晶圆上。

“我的天……”

老厂长脸色惨白。这些灰尘落在未固化的光刻胶上，那就是一个个巨大的陨石坑啊！

“换用磁悬浮风机，或者加装减震垫。”

苏正淡淡地下令，“记下来。”

“第二个鬼。”

苏正走到了一排清洗槽前。

这里是晶圆清洗区，使用的是最高纯度的去离子水。

“水没问题，我们天天测。”负责水质的技术员急忙辩解。

“水是没问题，但人有问题。”

苏正指了指正在操作清洗的一名女工。她戴著厚厚的橡胶手套，动作规范，正小心翼翼地拿取晶圆花篮。

“停。”

苏正走过去，“把你手套摘下来。”

女工嚇了一跳，怯生生地摘下手套。

“看看手套里面。”苏正指著手套內侧。

眾人凑过去一看，只见手套內侧有一层白色的粉末。

“这是滑石粉，为了防粘用的。”老厂长解释道，“这有问题吗？手套也没破啊。”

“静电。”

叶心仪在一旁补充道，“橡胶手套在摩擦时会產生高达几千伏的静电。这层滑石粉虽然在內部，但在高压静电场的作用下，会被『吸』附到手套表面，然后隨著操作，落入清洗液中。”

苏正点点头：“对於1微米的製程来说，一颗滑石粉颗粒，就是一座大山。它会挡住光刻的光线，造成断路。”

“全部换成无粉丁腈手套。还有，操作员进出必须经过除静电门。”

“第三个鬼……藏得最深。”

苏正带著眾人走到了光刻机的核心区域。

这里是最乾净的地方，也是良品率杀手最猖狂的地方。

苏正站在那台“手搓光刻机”前，盯著它的传送带。

这是一条黑色的橡胶传送带，负责把晶圆送入曝光区。

“这条传送带，是谁採购的？”苏正问道。