深夜十一点,杭州指挥中心的技术区灯火通明。六名工程师围在三维建模台前,屏幕上,1965年光刻机铭牌背面的刻痕正在被逐层剥离。

“不是常规电路。”技术总监陈锋放大其中一道沟槽,“深度不均匀,边缘有毛刺,这是手工刻的。但精度……”他调出测量数据,“平均误差0.3微米。用手工在铜板上刻出这个精度,王院士当年八十二岁了。”

李卫东站在屏幕前,没有说话。

图像继续放大。那些看似杂乱无章的刻痕,在特定角度下呈现出惊人的规律——不是二维平面,是三维堆叠。每一层刻痕之间,通过微米级的倾斜通道连接。

“这不是电路图。”陈锋声音发紧,“这是……製造流程图。”

他调出一块局部,与林浩然带回的euv图纸对比。完全不同的结构,完全不同的材料体系。碳纳米管垂直排列,柵极环绕结构,层间互联通过量子隧穿实现。

“碳基晶片的三维集成工艺。”吴淑贞走到屏幕前,“王守武1978年去兰州时,带走了中科院半导体所的全部碳材料研究资料。四十五年,他就干了这一件事。”

“能量產吗?”张铁问。

“不知道。”陈锋摇头,“图纸里没有设备参数。王院士只给出了『做什么』,没给出『用什么做』。”

巧妇难为无米之炊。

李卫东看向彼得森的笔记本。老人说得很清楚:五年,从零建设產业链。那是硅基euv的时间表。

碳基晶片没有產业链。一切从零开始。

“李总。”技术组小刘从角落站起来,手里拿著一份列印件,“我在王院士刻痕的第173层发现了一段文本。不是技术参数,是……信。”

他点开扫描图。在层层叠叠的刻痕最深处,有一小片空白区域,用繁体字工工整整刻著:

【后来者鉴:若见此文,我当已作古。碳基集成之途,崎嶇难行,我穷四十五年,仅窥门径。所遗之法,非完整工艺,乃一思路、一方向、一火种。】

【我常思,何为国之重器?非一机一器,乃千万人前赴后继之志。asml称雄,非一日之功,乃四十年叠代,千亿投入,万人心血。我辈起步晚五十年,欲追之,必以百倍努力,千倍耐心。】

【然耐心非坐等。当此日新月异之世,技术一日千里,坐待则亡。故我留此火种,非求速成,乃求不绝。】

**【我信,终有一日,中国必有自主可控之高端晶片。不在asml之专利围城,不在西方之技术封锁,而在——】 **

最后一句话没有刻完。空白处有一道很深的划痕,像是刻刀突然滑脱。

陈锋沉默了很久,才说:“王院士应该是身体突然不行了。这道划痕的深度……他可能趴在了铭牌上。”

房间里没有人说话。

林悦然一直站在角落,这时突然开口:“我哥哥说,他在asml学到最重要的事,不是技术,是『系统』。”

“系统?”

“euv不是一台机器,是產业链的结晶。德国蔡司的镜头,美国cymer的光源,日本信越的光刻胶,瑞典的真空腔体……”她声音很轻,“asml只是把这一切集成起来。但他们敢集成,是因为知道每个环节都会按时交货。”

她抬起头:“中国没有这个系统。”

李卫东看著她。这个二十六岁的女孩,刚从长达三年的监禁中获救,父母双亡,唯一的哥哥也死了。此刻她站在这里,用破碎的声音告诉一群技术人员:你们缺的不是图纸,是生態。

“所以第一步不是造光刻机。”张铁说。

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“是造光刻机的土壤。”陈锋接话。

李卫东走到窗边。凌晨的杭州城沉睡在黑暗中,只有西湖边的路灯连成模糊的光带。

他想起1985年父亲和周正明在书房討论双螺杆压缩机国產化。那时中国连合格的钢材都炼不出来,两个中年人对著德国图纸抽了一整夜烟。

四十年了。

我们有了合格的钢材,有了自己的压缩机,有了高铁、大飞机、量子计算机。

但每一次攀登到山顶,总会发现更高的山在前方。

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